Монокристаллическая кремниевая пластина без ущерба для очистки 500 Вт лазерная очистка
Детали продукта:
1. Ключевые функции
- Технология непредвзятой технологии очистки: Использует высокопрочный лазер с импульсным волокном для удаления загрязняющих веществ (например, частиц, оксидов, органических остатков) без теплового напряжения или повреждения поверхности.
- Высокая эффективность: 500 Вт лазерная мощность обеспечивает быструю очистку, сокращение времени простоя и повышает пропускную способность производства.
- Умная автоматизация: Программируемые настройки и мониторинг в режиме реального времени обеспечивают постоянное качество очистки для вафей различных размеров и спецификаций.
- Экологически чистый: Устраняет химические растворители и абразивные материалы, согласуясь с устойчивыми методами производства.
- Онлайн -тестирование и отбор проб: Поддерживает пробные прогоны на месте и обработку образцов для проверки производительности для конкретных приложений.
2. Технические характеристики
Лазерный тип: Лазер с импульсным волокном
Длина волны: 1064 нм (регулируемый для оптимальной совместимости материала)
Выходная мощность: 500 Вт (регулируемый с шагом 1%)
Качество луча: M² <1,3
Частота пульса: 10–4000 кГц
Скорость сканирования: До 35000 мм/с
Уборка: Настраиваемые для размеров пластин (до 12- дюйм диаметром).
Система охлаждения: Закрыто водяной охлаждение для стабильной работы.
Программный интерфейс: Удобный графический интерфейс с предустановленными режимами очистки и журналом данных.
3. Приложения
- Уборка до и после процесса монокристаллических кремниевых пластин.
- Удаление фоторезиста, металлических остатков и микрочастиц в полупроводнике.
- Поверхностная подготовка к литографии, тонкопленочному отложению и процессам связывания.
4. Гарантия и поддержка
- Двухлетняя комплексная гарантия: Охватывает лазерный источник, оптику и системы управления.
- Пожизненная техническая поддержка: Удаленная диагностика и услуги по техническому обслуживанию на месте.
- Пользовательские решения: Аптированные конфигурации для уникальных требований к производственной линии.
5. Почему выбирают MRJ-Laser?
- Отраслевой опыт: Более 8 лет специализации в лазерных приложениях для полупроводников.
- Гарантия качества: Iso 9001- Сертифицированное производство с строгими протоколами тестирования.
- Глобальная сервисная сеть: Команды быстрого реагирования по всей Азии, Европе и Северной Америке.
Приглашение на фабричное тестирование:
Мы приветствуем, как клиенты планируют живую демонстрацию в нашем современном учреждении. Ознагождайте производительность машины, проверяйте результаты очистки и оптимизируйте параметры для ваших конкретных пластин.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы организовать испытание и изучить, как MRJ-Laser может повысить вашу точность производства полупроводников.














горячая этикетка : Монокристаллическая кремниевая пластина без ущерба для очистки 500 Вт лазерная очистка
Следующая статья
Очистка покрытия оксидного слоя очисткаВам также может понравиться
Отправить запрос















