Недавно исследовательская группа взаимодействия лазер-вещество Института сильных лазеров и приложений (CELIA) Университета Бордо во Франции объявила, что они разработали новую стеклянную микрочастицу с использованием фемтосекундного лазера, работающего в гигагерцовом (ГГц) импульсном режиме. Метод сверления, с помощью которого в стекле можно создавать неконусные тонкие отверстия с гладкими внутренними стенками и без трещин в стекле.
Как правило, при сверлении отверстий в стекле с помощью стандартного одиночного фемтосекундного импульсного лазера получаются конические отверстия конечной длины и шероховатые внутренние поверхности. Этот новый механизм взаимодействия лазера с веществом позволяет сверлить отверстия с большим соотношением сторон непосредственно за один шаг без какого-либо химического травления.
Выбор параметров лазерного импульса очень важен для получения хорошего качества микрообработки. Гигагерцовый (ГГц) импульсный режим фемтосекундных лазеров может проложить путь для новых приложений, таких как микроэлектроника, где кремниевые промежуточные продукты, вероятно, будут заменены стеклянными промежуточными продуктами.
Фемтосекундный лазер, работающий в виде гигагерцовых импульсов, а не повторяющихся одиночных импульсов, позволяет при взаимодействии со стеклянными материалами сочетать два преимущества: выделение лазерной энергии в материале распределяется в течение более длительного периода времени, что приводит к эффективной, контролируемой, а также отличной микрообработке. сохраняется качество фемтосекундных лазерных импульсов. В результате ударного сверления сверху вниз получается тонкое отверстие без конусности, без трещин и с гладкой внутренней стенкой.
