YAG лазер, процесс очистки опирается на характеристики световых импульсов, производимые лазер, основанный на высокой интенсивности балки, короткие импульсы.
Изучены фотофизические реакций, вызванных взаимодействия между лазерной и загрязненные слои. Его физические принципы можно резюмировать следующим образом:
1) излучаемый лазером луч поглощается загрязненного слоя на обрабатываемую поверхность.
2) поглощения энергии большие формы быстро расширяющейся плазмы (сильно ионизированные нестабильного газового), что создает ударную волну.
3) ударная волна вызывает загрязнители стать фрагментов и отклоняется.
4 ширина импульса света должен быть достаточно коротким, чтобы избежать накопления тепла, что бы повредить поверхность лечат.
5) эксперименты показали, что, когда есть оксида на поверхности металла, Плазма создается на поверхности металла.
Плазма создается только тогда, когда плотность энергии выше порога, который зависит от загрязненных или окиси слой удаляется. Этот порог
Эффект имеет важное значение для эффективной очистки при обеспечении безопасности материала подложки. Существует также второй порог на наличие плазмы. Если это возможно
Когда сумма плотность превышает этот порог, будут уничтожены материала подложки. С тем чтобы обеспечить эффективную очистку от материала подложки, он должен основываться на
Параметры лазерного корректируются таким образом, что плотность энергии светового импульса является строго между двумя ползунками.
Каждый лазерного импульса удаляет определенной толщины загрязненного слоя. Если загрязненного слоя толщиной, для очистки требуются несколько импульсов. Высушите поверхность
Количество импульсов, необходимых для сетки зависит от степени загрязнения поверхности. Одним из важных результатов, подготовленных двумя ползунками является самоконтроль очистки. Высокая плотность энергии
Световые импульсы на пороге первого всегда будет отвергать загрязняющих веществ до материала подложки. Однако потому что его плотность энергии меньше, чем от материала подложки
Порог уничтожается, так что субстрат не поврежден.
