Лазер является одним из главных изобретений естественных наук двадцатого века. В 1960 году был выпущен первый лазер в мире. Впоследствии, лазеры с хорошей когерентностью, малыми углами противника и высокой концентрацией энергии широко использовались в различных областях, таких как лазерная локация, лазерная обработка и лазерная связь. В начале 1980-х люди начали использовать высокоэнергетические лазерные лучи для освещения поверхности заготовки, в результате чего поверхность грязи, ржавчины или покрытия мгновенно испарялась или отслаивалась, и эффективно удаляла насадку или покрытие с поверхности объект на высокой скорости. Процесс очистки поверхности материала производится лазерной очисткой. За последние десять лет лазерная очистка перешла из лаборатории в практические применения, использовалась в различных формах резиновых изделий, силиконовых формах для удаления масла, ржавчины, культурных реликвий, микроэлектронных плат и других материалов, и достигла очень хороших экономических и социальные льготы.
В середине 1980-х годов для того, чтобы удовлетворить потребности промышленного производства в удалении мельчайших частиц на шаблонах памяти, лазерная очистка получила широкое внимание и исследования и была официально признана эффективным методом очистки, который исследователи пытались использовать. Обычные методы очистки, такие как механическая очистка, химическая очистка и ультразвуковая очистка для удаления субмикронных частиц, прикрепленных к шаблону, далеко не идеальны. Поскольку сила адсорбции частиц на матрице (сила Ван-дер-Ваальса, электростатическая сила и т. Д.) Довольно удивительна, например, частицы размером 1 мкм, его сила адсорбции на поверхности шаблона примерно в 106 раз больше, чем его гравитация, и метод механической очистки не может быть завершен. Удаление мельчайших частиц, химическая очистка могут привести к коррозии и повторному загрязнению шаблона. Ультразвуковая очистка требует, чтобы шаблон был помещен в центр звуковой вибрации, что приведет к разрыву шаблона. Лазерная очистка производится в таких условиях. В этом случае люди начали систематически его изучать: его появление решило проблему загрязнения на поверхности шаблона, а с развитием технологии лазерной очистки оно также широко использовалось во многих других областях.
В конце 1980-х годов ученые обнаружили, что покрытие поверхности подложки жидким вспомогательным слоем в большей степени способствует удалению загрязняющих частиц. Среди них вода является таким эффективным вспомогательным слоем. Способ покрытия поверхности изделия, подлежащего очистке, жидкой пленкой, имеющей толщину порядка миллиметра, и последующего облучения лазером для удаления загрязненных частиц является тем, что мы позже называем паровой (влажной) лазерной очисткой, по сравнению с сухой тип. Лазерная очистка, паровая лазерная очистка имеет более высокую эффективность очистки. Только в начале 1990-х годов лазерная очистка действительно вошла в промышленное производство. Фактически, почти в 1987 году три исследовательские группы независимо друг от друга обнаружили эффекты лазерной очистки. Среди них исследовательская группа во главе с Запкой получила первый патент на лазерную очистку и признала перспективы его применения в промышленности. Другая исследовательская группа - Институт биохимии и физики им. Макса Планка в Току, ученые. Кремниевая матрица была покрыта частицами золота размером 35 нм, а затем азотный молекулярный лазер был непосредственно облучен на твердой поверхности, и в результате, частицы золота на поверхности были успешно удалены, в то время как кремниевый шаблон не был поврежден, что указывает на то, что лазер использовался для очистки твердой поверхности. Загрязненные частицы возможны.
В 2001 году компания Fourrier и ее сотрудники провели эксперименты по очистке паровым лазером частиц различной формы, размеров и материалов, чтобы определить интенсивность лазерного излучения, необходимую для различных частиц, в диапазоне от десятков до сотен нанометров. Порог такой же. Этот «широко согласованный порог» обеспечивает более благоприятную поддержку промышленного применения паровой лазерной очистки для удаления субмикронных частиц. Хотя разработка лазерной очистки основана на очистке мелких твердых частиц на поверхности, исследования в других областях были проведены соответствующим образом. Например, в 1970-х годах, после исследований и экспериментов, было установлено, что лазеры очищают исторические здания и произведения искусства. Есть осуществимость. В 1992 году ЮНЕСКО успешно использовала лазерную очистку для ремонта собора Ясмин в Англии. В некоторых странах Европы также была произведена лазерная очистка собора Амьена (Франция), собора Святого Стефана (Вена, Австрия), Могилы Неизвестного солдата (Варшава, Польша). Применение лазера для зачистки также привлекло внимание исследователей. Вудрофф и др. в США проделали большую работу в этой области.
В 1990-х годах исследователи в Германии и Японии разработали мощные лазеры TEA-CO2 для лазерной очистки краски и использовали их для проведения серии экспериментов. Лишь в 2005 году исследователи опубликовали работы по зачистке самолетов с использованием мощных TEA-CO2-лазеров. Ученые из разных стран также провели множество исследовательских исследований по применению форм для шин, обработке поверхности, космическому мусору и другим аспектам и достигли замечательных результатов.
